噴漆房等離子廢氣凈化設備利用制的能臭氧UV紫外線光束照射有機氣體及空氣中的氧分子，裂解有機氣體的分子鍵，并分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧)。游離狀態的分子與臭氧氧化結合成小分子無害或害的化合物，如CO2、H2O等。從而達到凈化氣體的效果。

反應工程式：

1、UV + 分子有機物→分子有機物

2、UV + 空氣( O2) →O3

3、分子有機物+ O3→ CO2+ H2O +N2

降解揮發性有機污染物(VOCs)傳統的處理方法如吸收、吸附、冷凝和燃燒等，對于低濃度的VOCs很難實現，而光催化降解VOCs又存在催化劑容易失活的問題，利用低溫等離子體處理VOCs可以不受上述條件的限制，具有潛在的優勢。等離子廢氣凈化器采用了吸附-分解-碳化 離心式抽風安裝新工藝技術設計，采用標準模塊設計等優點，是一種干法處理有機廢氣的凈化設備。它改變了使用活性碳材料的工藝技術，無需處理原料，無需專人負責，不產生二次污染，換及維護保養方便。

噴漆房等離子廢氣凈化設備是繼固態、液態、氣態之后的物質的第四態，當外加電壓達到氣體的著火電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。

低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應已達到分解污染物的目的。低溫等離子體是相對于高溫等離子體而言，屬于常溫運行。

低溫等離子體工業廢氣處理成套設備和技術作為一種新型的氣態污染物的治理技術是一個集物理學、化學、生物學和環境科學于一體的交叉綜合性電子化學技術，由于能很容易使污染物分子分解且處理能耗低等特點