光氧一體等離子廢氣凈化器低溫等離子體技術處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev ，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得十分快速。

低溫等離子體技術處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev ，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得十分快速。

光氧一體等離子廢氣凈化器等離子是由離子、電子、自由基和激發態原子或分子等物種組成，屬固態、液態、氣態之外第四種狀態，由于在一定的空間范圍內氣體中的正、負電荷相等，故之形成等離子體。采用低溫等離子體分解油霧、廢氣等污染物時，等離子體中的高能離子起決定性的作用。等離子其原理是通過高壓窄脈沖電壓發生器產生的前沿陡峭、脈沖窄（納秒級）的高壓脈沖電暈放電，在常溫常壓下獲得非平衡等離子體，產生大量高能電子和·O、·OH等活性粒子。在低溫等離子體中，發生各類型的化學反應，這主要取決于等離子的平均能量、離子密度、氣體溫度、污染物介質內分子濃度及共存的介質成分。對氣態有機污染物的降解機理有足夠的能量來產生自由基，引發一系列的物理、化學反應。由低溫等離子體引起的氣體有機物化學反應是在氣相中進行的電離、離解、激發、原子與分子間的相互反應。這個能量可使大多數氣態有機物中的化學鍵發生斷裂，從而得到降解，使污染物直接分解或氧化還原最終轉化為無害物。