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光氧一體等離子廢氣凈化器低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。

等離子光氧催化一體機UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧)，臭氧對有機物有很強的氧化作用，對工業廢氣和其他刺激性異味有很快的去除效果。工業廢氣利用排氣設備輸入本凈化設備后，凈化設備利用高能源UV紫外光束和臭氧協同分解工業廢氣氧化反應，將工業廢氣物質分解成低分子化合物、水和二氧化碳，通過排氣管道排出室外。

等離子廢氣凈化器設備降解揮發性有機污染物(VOCs)傳統的處理方法如吸收、吸附、冷凝和燃燒等，對于低濃度的VOCs很難實現，而光催化降解VOCs又存在催化劑容易失活的問題，利用低溫等離子體處理VOCs可以不受上述條件的限制，具有潛在的優勢。

噴漆房等離子廢氣凈化設備利用制的能臭氧UV紫外線光束照射有機氣體及空氣中的氧分子，裂解有機氣體的分子鍵，并分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧)。游離狀態的分子與臭氧氧化結合成小分子無害或害的化合物，如CO2、H2O等。從而達到凈化氣體的效果。

等離子廢氣凈化器風阻小，安裝簡便，可根據客戶現場環境要求分組制造，方便運輸及安裝。設備結構緊湊，投資低，操作方便。